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F30系列
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最强大的工具可用于监视薄膜沉积
测量沉积速率,薄膜厚度,光学常数(N和K),以及通过欧宝娱乐在线平台F30光谱反射系统实时实时的半导体和介电层的均匀性。
示例层
MBE和MOCVD:可以测量光滑,半透明或轻度吸收膜。这实际上包括从Aigan到GainAsp的任何半导体材料。
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模型规格
模型
厚度范围*
波长范围
F30
15nm -70µm
380-1050nm
F30-UV
3nm -40µm
190-1100nm
F30-nir
100nm -250µm
950-1700nm
F30-EXR
15nm -250µm
380-1700nm
F30-UVX
3nm -250µm
190-1700nm
f30-xt
.2µm -450µm
1440-1690nm
*电影堆栈依赖
厚度范围*
F30-UV
F30-UVX
F30
F30-EXR
F30-nir
f30-xt
1nm
10nm
100nm
1µm
10µm
100µm
1mm
F30-UV
F30-UVX
F30
F30-EXR
F30-nir
f30-xt
1nm
10nm
100nm
1µm
10µm
100µm
1mm
好处:
极大地提高了生产率
低成本 - 可以在几个月内支付
准确 - 测量比±1%更好
快速测量几秒钟
非侵入性 - 完全在沉积室外面
易于使用 - 直观的Windows®软件
交钥匙系统在几分钟内设置
常见的可选配件
NIST可追踪厚度标准
镜头组件
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