F30系列

最强大的工具可用于监视薄膜沉积
测量沉积速率,薄膜厚度,光学常数(N和K),以及通过欧宝娱乐在线平台F30光谱反射系统实时实时的半导体和介电层的均匀性。

示例层
MBE和MOCVD:可以测量光滑,半透明或轻度吸收膜。这实际上包括从Aigan到GainAsp的任何半导体材料。

模型规格

模型 厚度范围* 波长范围
F30 15nm -70µm 380-1050nm
F30-UV 3nm -40µm 190-1100nm
F30-nir 100nm -250µm 950-1700nm
F30-EXR 15nm -250µm 380-1700nm
F30-UVX 3nm -250µm 190-1700nm
f30-xt .2µm -450µm 1440-1690nm
*电影堆栈依赖

厚度范围*

F30-UV F30-UVX F30 F30-EXR F30-nir f30-xt 1nm 10nm 100nm 1µm 10µm 100µm 1mm
F30-UV F30-UVX F30 F30-EXR F30-nir f30-xt 1nm 10nm 100nm 1µm 10µm 100µm 1mm

好处:

常见的可选配件