F3-SX家族测量最高可达3毫米的半导体和介电层。这种厚层倾向于变得更粗糙并且比较薄的层更致密，F3-SX计数器具有10μm直径的测量点。通过F3-SX系列轻松衡量与其他仪器无法衡量的材料。测量速率高达1 kHz也使F3-SX成为许多在线应用的最佳选择（例如，卷到滚动过程）。欧宝网页版登录

F3-SX系列使用近红外（NIR）光来测量层厚度 - 甚至多层对眼睛（如半导体）也是不透明的。F3-S980的980 nm波长版本专为成本敏感的应用而设计。欧宝网页版登录F3-S1310经过优化用于测量重掺杂硅，而F3-S1550用于最厚的层。

附件包括自动映射阶段，具有测量点可视化的摄像机，可见波长选项，可扩展厚度测量功能降至15nm。