F3-SX系列

F3-SX家族测量最高可达3毫米的半导体和介电层。这种厚层倾向于变得更粗糙并且比较薄的层更致密,F3-SX计数器具有10μm直径的测量点。通过F3-SX系列轻松衡量与其他仪器无法衡量的材料。测量速率高达1 kHz也使F3-SX成为许多在线应用的最佳选择(例如,卷到滚动过程)。欧宝网页版登录

波长选项
F3-SX系列使用近红外(NIR)光来测量层厚度 - 甚至多层对眼睛(如半导体)也是不透明的。F3-S980的980 nm波长版本专为成本敏感的应用而设计。欧宝网页版登录F3-S1310经过优化用于测量重掺杂硅,而F3-S1550用于最厚的层。

配件
附件包括自动映射阶段,具有测量点可视化的摄像机,可见波长选项,可扩展厚度测量功能降至15nm。

型号规格

模型 厚度范围* 波长范围
F3-S980 10μm - 1mm 960-1000nm.
F3-S1310 15μm - 2mm. 1280-1340nm.
F3-S1550 25μm - 3mm. 1520-1580nm.
*胶片堆叠

厚度范围*

F20系列 F3-S980 F3-S1310 F3-S1550 1nm. 10nm. 100nm. 1μm 10μm. 100μm 1mm. 10mm.
F20系列 F3-S980 F3-S1310 F3-S1550 1nm. 10nm. 100nm. 1μm 10μm. 100μm 1mm. 10mm.

包括什么

额外的特权

常见的可选配件