Filmetrics R系列映射工具与KLA开发和完善了45年以上的板电阻技术，并在过去20年中由Filmetrics T欧宝体育vipeam在过去20年中精炼了台式仪表技术和用户界面。
建议对薄金属和离子植入层进行4PP接触四点探针构型，并建议对较厚的金属层以及柔软或柔性导电表面进行非接触式涡流（EC）探针。这些技术支持广泛的测量，包括但不限于以下几个：
使用矩形，线性，极性和自定义配置，使用了延长的清除率和自动化的样品点映射，优化了Filmetrics R50设计，以支持各种样本类型。
这KLA Instruments™R54系列系统提供了带有额外功能的轻型围栏内R50的测量性能，以支持自动化的X-Y-θ阶段，用于全200mm或300mm的半导体和复合半导体晶圆的晶圆映射。了解更多→
| 模型 | 传感器类型 | 测量 范围 |
最大 地图 直径 |
XY舞台 范围 |
最大 样本 高度 |
|---|---|---|---|---|---|
| R50-4pp | 联系4pp | 1MΩ/sq- 200mΩ/sq |
100mm | 100mm x 100mm |
100mm |
| R50-EC | 非接触 涡流 |
1MΩ/sq- 50Ω/sq |
100mm | 100mm x 100mm |
100mm |
| R50-200-4pp | 联系4pp | 1MΩ/sq- 200mΩ/sq |
200mm | 200mm 圆形的 |
100mm |
| R50-200-EC | 非接触 涡流 |
1MΩ/sq- 50Ω/sq |
200mm | 200mm 圆形的 |
100mm |
| R54-200-4pp | 联系4pp | 1MΩ/sq- 200mΩ/sq |
200mm | 200mm x 200mm |
15mm |
| R54-200-EC | 非接触 涡流 |
1MΩ/sq- 50Ω/sq |
200mm | 200mm x 200mm |
15mm |
| R54-300-4pp | 联系4pp | 1MΩ/sq- 200mΩ/sq |
300mm | 300mm 圆形的* |
15mm |
| R54-300-EC | 非接触 涡流 |
1MΩ/sq- 50Ω/sq |
300mm | 300mm 圆形的* |
15mm |
| *自动x-y-θ阶段 | |||||