R50/R54系列

板电阻映射

Filmetrics R系列映射工具与KLA开发和完善了45年以上的板电阻技术,并在过去20年中由Filmetrics T欧宝体育vipeam在过去20年中精炼了台式仪表技术和用户界面。

建议对薄金属和离子植入层进行4PP接触四点探针构型,并建议对较厚的金属层以及柔软或柔性导电表面进行非接触式涡流(EC)探针。这些技术支持广泛的测量,包括但不限于以下几个:

  • 金属膜和背面厚度测量
  • 底物电阻率
  • 板电阻
  • 薄膜厚度或欧宝娱乐在线平台电阻率
  • 板和散装电导率

使用矩形,线性,极性和自定义配置,使用了延长的清除率和自动化的样品点映射,优化了Filmetrics R50设计,以支持各种样本类型。

KLA Instruments™R54系列系统提供了带有额外功能的轻型围栏内R50的测量性能,以支持自动化的X-Y-θ阶段,用于全200mm或300mm的半导体和复合半导体晶圆的晶圆映射。了解更多→

楷模

模型 传感器类型 测量
范围
最大
地图
直径
XY舞台
范围
最大
样本
高度
R50-4pp 联系4pp 1MΩ/sq-
200mΩ/sq
100mm 100mm x
100mm
100mm
R50-EC 非接触
涡流
1MΩ/sq-
50Ω/sq
100mm 100mm x
100mm
100mm
R50-200-4pp 联系4pp 1MΩ/sq-
200mΩ/sq
200mm 200mm
圆形的
100mm
R50-200-EC 非接触
涡流
1MΩ/sq-
50Ω/sq
200mm 200mm
圆形的
100mm
R54-200-4pp 联系4pp 1MΩ/sq-
200mΩ/sq
200mm 200mm x
200mm
15mm
R54-200-EC 非接触
涡流
1MΩ/sq-
50Ω/sq
200mm 200mm x
200mm
15mm
R54-300-4pp 联系4pp 1MΩ/sq-
200mΩ/sq
300mm 300mm
圆形的*
15mm
R54-300-EC 非接触
涡流
1MΩ/sq-
50Ω/sq
300mm 300mm
圆形的*
15mm
*自动x-y-θ阶段

板电阻和其他测量应用欧宝网页版登录

  • 半导体晶圆底物
  • 玻璃基板
  • 塑料(柔性)底物
  • PCB图案功能
  • 太阳能电池
  • 平板显示层和图案功能
  • 金属箔
  • 导电橡胶和弹性体

常见的可选配件