Filmetrics r系列电阻率测绘工具结合了KLA在过去45年里开发和完善的薄片电阻技术，以及Filmetrics团队在过去20年里改进的台式欧宝体育vip仪器技术和用户界面。
对于较薄的金属和离子植入层，建议采用4PP接触四点探头配置，对于较厚的金属层和软或柔性导电表面，建议采用非接触涡流(EC)探头配置。这些技术支持广泛的测量，包括但不限于以下:
Filmetrics R50电阻率测图系统设计经过优化，可支持广泛的样品类型，具有更大的间隙，并使用矩形、线性、极性和自定义配置自动采样点测图。
的解放军的仪器™r54系列系统在一个不透光的外壳内提供了R50的测量性能，并具有额外的功能，支持自动化的X-Y-θ级，用于半导体和化合物半导体晶圆的完整200mm或300mm晶圆映射。了解更多→
| 模型 | 传感器类型 | 测量 范围 |
最大 地图 直径 |
XY阶段 范围 |
最大 样本 高度 |
|---|---|---|---|---|---|
| R50-4PP | 接触4页 | Ω/平方- 1米 200Ω/平方 |
100毫米 | 100毫米x 100毫米 |
100毫米 |
| R50-EC | 非接触式 涡流 |
Ω/平方- 1米 50Ω/平方 |
100毫米 | 100毫米x 100毫米 |
100毫米 |
| r50 - 200 - 4页 | 接触4页 | Ω/平方- 1米 200Ω/平方 |
200毫米 | 200毫米 轮 |
100毫米 |
| r50 - 200电子商务 | 非接触式 涡流 |
Ω/平方- 1米 50Ω/平方 |
200毫米 | 200毫米 轮 |
100毫米 |
| r54 - 200 - 4页 | 接触4页 | Ω/平方- 1米 200Ω/平方 |
200毫米 | 200毫米x 200毫米 |
15毫米 |
| r54 ec - 200 | 非接触式 涡流 |
Ω/平方- 1米 50Ω/平方 |
200毫米 | 200毫米x 200毫米 |
15毫米 |
| r54 - 300 - 4页 | 接触4页 | Ω/平方- 1米 200Ω/平方 |
300毫米 | 300毫米 轮* |
15毫米 |
| r54 ec - 300 | 非接触式 涡流 |
Ω/平方- 1米 50Ω/平方 |
300毫米 | 300毫米 轮* |
15毫米 |
| *自动X-Y-θ级 | |||||