R50 / R54-Series

片电阻映射

Filmetrics r系列绘图工具结合了KLA 45多年来开发和完善的薄片电阻技术,以及Filmetrics团队20多年欧宝体育vip来改进的台式仪器技术和用户界面。

对于较薄的金属和离子植入层,建议采用4PP接触四点探头配置,对于较厚的金属层和柔软或灵活的导电表面,建议采用非接触式涡流(EC)探头。这些技术支持广泛的测量,包括但不限于以下:

  • 金属薄膜和背面层厚度测量
  • 基质电阻率
  • 薄层电阻
  • 薄膜厚度或欧宝娱乐在线平台电阻率
  • 片体导电性

Filmetrics R50的设计经过优化,支持广泛的样本类型,具有扩展的间隙和使用矩形、线性、极性和自定义配置的自动样本点映射。

解放军的仪器™r54 -系列系统提供了R50的测量性能,在一个不透光的外壳内,附加功能支持全自动X-Y-θ级,用于半导体和复合半导体晶圆的完整200mm或300mm晶圆映射。了解更多→

模型

模型 传感器类型 测量
范围
最大
地图
直径
XY阶段
范围
最大
样本
高度
R50-4PP 接触4页 Ω/平方- 1米
200Ω/平方
100毫米 100毫米x
100毫米
100毫米
R50-EC 非接触式
涡流
Ω/平方- 1米
50Ω/平方
100毫米 100毫米x
100毫米
100毫米
r50 - 200 - 4页 接触4页 Ω/平方- 1米
200Ω/平方
200毫米 200毫米
100毫米
r50 - 200电子商务 非接触式
涡流
Ω/平方- 1米
50Ω/平方
200毫米 200毫米
100毫米
r54 - 200 - 4页 接触4页 Ω/平方- 1米
200Ω/平方
200毫米 200毫米x
200毫米
15毫米
r54 ec - 200 非接触式
涡流
Ω/平方- 1米
50Ω/平方
200毫米 200毫米x
200毫米
15毫米
r54 - 300 - 4页 接触4页 Ω/平方- 1米
200Ω/平方
300毫米 300毫米
轮*
15毫米
r54 ec - 300 非接触式
涡流
Ω/平方- 1米
50Ω/平方
300毫米 300毫米
轮*
15毫米
*自动X-Y-θ级

板材电阻和其他测量应用欧宝网页版登录

  • 半导体晶圆衬底
  • 玻璃基板
  • 塑料(柔性)基材
  • PCB图形特征
  • 太阳能电池
  • 平板显示层和图案特征
  • 金属箔
  • 导电橡胶和弹性体

常用可选配件