ITO 3的折射率

氧化铟锡(ITO,或更恰当的锡掺杂氧化铟)是一种非常常见的透明导电氧化物(TCO)薄膜。它可以合理地描述为In2O3和SnO2的合金。这种材料具有非常复杂的折射率,在紫外和近红外区域都具有光学吸收。ITO广泛应用于大多数商业平板显示器和触摸屏。虽然ITO是可靠的和广泛使用的,但它不能被称为光学不变材料。每个制造商的ITO薄膜的折射率有细微到很大的不同。进一步复杂的光学描述这类薄膜是ITO的著名的梯度折射率行为。当ITO薄膜沉积在100nm以上的厚度时,这一点尤其明显。当沿着薄膜的z(厚度)方向移动时,复折射率的变化变得非常明显。在这种情况下,简单的(空间独立的)指数模型将不能充分模拟光谱反射率数据。

对于典型的ITO 3样品折射率而且消光系数632.8纳米分别是2.01234和0.078308。下面是全折射率和消光系数的文件。如果该文件无法下载,您可以点击“请求”来请求我们的专有文件。

折射率的参考——Filmetrics复合

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