➔用不到AFM或3D触笔轮廓仪一半的价格获得光学轮廓仪!
的Profilm3D®光学剖面仪采用最先进的技术白光干涉测量法(WLI)测量表面轮廓和粗糙度至0.05 μ m;添加低成本的PSI可使垂直特征的最小尺寸减小到0.001µm。最新一代的Profilm3D提供增强粗糙度模式用于精确成像粗糙表面和高度倾斜的侧壁。
| 模型 | XY舞台范围 | |
|---|---|---|
| Profilm3D | 100毫米x 100毫米 | |
| profilm3d - 200 | 200毫米x 200毫米 | |
拖动可旋转这些Profilm3D图像，滚动可缩放。要获得更完整的分析，只需单击图像标题来查看ProfilmOnline®-我们的免费的基于网络的程序查看，分析，并分享图像从任何3D轮廓仪或AFM!
我们的全功能Profilm3D软件可在您的桌面上查看和分析您的Profilm3D图像。您的图像也可以查看和分析任何地方您有一个浏览器-包括平板电脑或智能手机-在我们的ProfilmOnline网站(ProfilmOnline也是一个伟大的地方，以存储和分享您的图像和分析结果!)
所有47个标准ASME/EUR/ISO粗糙度参数
多种阶梯高度技术:直线、矩形和直方图
粗糙度和波纹截止滤波器
承载比
空间和FFT滤波
体积计算
拆模
粒子/谷物
使用Profilm3D，您可以在几秒钟内测量表面纹理、光洁度和粗糙度，所有这些都只需单击一次鼠标。使用行业标准的白光干涉术(WLI)和移相干涉术(PSI)技术，以及新的增强粗糙度模式(ERM)， Profilm3D可以在不接触样品的情况下快速测量大面积2D区域的粗糙度和纹理。点击在这里查看使用WLI、PSI和ERM技术测量的粗糙度测量应用。欧宝网页版登录
因为Profilm3D是非接触式技术，所以可以很容易地测量曲面和其他非平面。形状删除(又名形式删除)和过滤可以添加到您的测量配方，使表面光洁度，纹理和粗糙度测量一键事件!
Profilm3D计算所有47个标准ASME/EUR/ISO粗糙度参数。您可以将它们中的任何一个或所有显示在您的结果中，使自定义报告变得非常简单。
光学方法测量表面粗糙度现在完全支持ISO。特别是，ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的WLI方法(也称为相干扫描干涉测量法)。
光学轮廓仪比手写轮廓仪有很多优点:
Profilm3D测量的面积可达几平方毫米，所用时间与触控笔轮廓仪直线扫描的时间相同。用得到的区域扫描计算出的粗糙度产生的测量结果在统计上比从直线扫描得到的测量结果更有意义和更有代表性。如果您正在使用触控笔轮廓仪扫描相同大小的区域，请准备好花几分钟等待(并希望您的扫描参数设置正确!)
一旦您的测量配方设置好了(我们的专家很乐意帮助您)，只需将您的样本放在Profilm3D舞台上，并单击Measure按钮。如果你对测量一个特定的微观位置感兴趣，Profilm3D的自动XY工作台可以很容易地找到它。更简单的是，只要你感兴趣的区域在Profilm3D的2mm x 1.7mm的大视场(带有10倍物镜)内，你就可以轻松地分析不同的区域。
因为光学轮廓测量法是非接触式技术，所以可以很容易地测量曲面和其他非平面。形状删除(又名形式删除)和过滤是标准的Profilm3D，可以很容易地添加到您的配方-制作测量表面光洁度，纹理，和曲面的粗糙度快速和容易。剖面还可以在扫描后进行水平调整，这是另一个可以自动添加到测量食谱中的功能。除此之外，作为一种非接触式的方法意味着光学侧写器不会像触控笔侧写器那样损坏你柔软细腻的胶片。
如果你有一个触控式轮廓仪，你就会知道针尖损坏是一个经常要担心的问题，而且更换针尖既不快捷也不便宜。相比之下，光学剖面仪不接触你的样品，和普通显微镜一样脆弱。Profilm3D光源是一个LED，所以不需要定期更换灯(或其他任何东西)。
你可以看到你的样品的一个可视化的3D表示-而不仅仅是典型的触控笔轮廓仪的曲线线。有了SpaceMouse®，您的3D图像可以轻松地在所有三维空间进行操作。
蓝色的线条来自Profilm3D，红色的线条来自KLA-Tencor D-100触笔轮廓仪。
如需更完整的规格，请索取数据表。
| 机械规格- Profilm3D | |
| Z范围 | 100毫米 |
| 压电范围 | 500μm |
| XY舞台类型 | 自动化 |
| XY舞台范围 | 100毫米x 100毫米 |
| 相机 | 2592 x 1944(500万像素) |
| 系统尺寸，宽x深x高 | 305毫米x 305毫米x 550毫米 |
| 系统重量 | 15公斤 |
| 机械规格- Profilm3D-200 | |
| XY舞台范围 | 200毫米x 200毫米 |
| 系统规模 | 406毫米x 406毫米x 550毫米 |
| 系统重量 | 22公斤 |
| 性能规格 | |
| 厚度范围，WLI | 50nm - 10mm |
| 厚度范围，PSI* | 0 - 3μm |
| 样品反射率范围 | 0.05% - 100% |
| *可选移相干涉测量模式 | |
| 一般电脑要求 | |
| 视频 | 硬件加速支持DirectX 11 |
| 操作系统 | Windows 7或更新版本(需要64位操作系统) |
| I / O端口 | 1个可用的USB3接口 |
| 最低配置 | 推荐配置 | |
| 处理器 | 双核，2.0GHz时钟速度 | 四核，2.2GHz时钟速度 |
| 显示 | 1366 x 768 | 1920 x 1080 |
| 内存 | 4 gb内存 | 8 gb RAM |
| 磁盘空间 | 300 mb | 500 mb |
| 最低配置 | |
| 处理器 | 双核，2.0 GHz时钟速度 |
| 显示 | 1366 x 768 |
| 内存 | 4 gb ram |
| 磁盘空间 | 300 mb |
| 推荐配置 | |
| 处理器 | 四核，2.2 GHz时钟速度 |
| 显示 | 1920 x 1080 |
| 内存 | 8 gb RAM |
| 磁盘空间 | 500 mb |
| 放大 | 5倍 | 10倍 | 20 x | 50 x | 100 x |
| 视场 | 4.0 x 3.4mm | 2.0 x 1.7mm | 1.0 x 0.85mm | 0.4 x 0.34mm | 0.2 x 0.17mm |
| 空间采样在4倍缩放** | 1.76μm | 0.88μm | 0.44μm | 0.176μm | 0.088μm |
| 放大 | 视场 | 空间抽样* * |
| 5倍 | 4.0 x 3.4mm | 1.76μm |
| 10倍 | 2.0 x 1.7mm | 0.88μm |
| 20 x | 1.0 x 0.85mm | 0.44μm |
| 50 x | 0.4 x 0.34mm | 0.176μm |
| 100 x | 0.2 x 0.17mm | 0.088μm |
*单独出售
**投影在样本上的像素大小
光学剖面仪具有WLI和GLI测量功能和自动对焦。包括:自动XY工作台，尖端倾斜工作台，4位手动转塔，用户说明，校准步高SHS-CrOnSi-10 μ m。
Profilm3D上200mm晶圆的手动旋转(r-theta)工作台。
步高标准10 μ m步长。铬表面上1.25"方硅。包含在Profilm3D中。
10倍尼康Mirau干涉物镜。(有关其他放大率的定价请与我们联系。)
升级剖面分析软件的PSI分析能力。
升级剖面分析软件，用于拼接剖面的Profilm3D XY网格。
将剖面分析软件升级为TotalFocus大景深成像。
台阶高度标准有4 μ m, 2 μ m和100nm台阶。铬表面上1.25"方硅。
概要桌面分析软件-永久许可证
主动隔振系统- Accurion Nano30。