➔以不到AFM一半的价格获得3D光学轮廓仪!
的Profilm3D®光学分析器使用最先进的技术白光干涉法(WLI)测量表面轮廓和粗糙度可达0.05 μ m;添加低成本的PSI选项将最小垂直特征尺寸降至0.001µm。最新一代的Profilm3D光学轮廓仪提供增强粗糙度模式用于精确成像粗糙表面和高度倾斜的侧壁。
| 模型 | XY级范围 | |
|---|---|---|
| Profilm3D | 100mm × 100mm | |
| profilm3d - 200 | 200mm x 200mm | |
拖动可旋转这些Profilm3D图像，滚动可缩放。要获得更完整的分析，只需单击图像标题即可查看ProfilmOnline®-我们免费的基于web的程序，用于查看，分析和共享来自任何3D轮廓仪或AFM的图像!
我们功能齐全的Profilm3D软件可在您的桌面上查看和分析您的Profilm3D图像。您的图像也可以在任何您有浏览器的地方查看和分析-包括平板电脑或智能手机-在我们的ProfilmOnline网站上(ProfilmOnline也是一个存储和分享您的图像和分析结果的好地方!)
所有47个标准ASME/EUR/ISO粗糙度参数
多重步高技术:直线、矩形和直方图
粗糙度和波纹截断滤波器
承载比
空间和FFT滤波
体积计算
拆模
粒子/谷物
使用Profilm3D非接触式轮廓仪，只需单击鼠标，即可在几秒钟内测量表面纹理、光洁度和粗糙度。使用行业标准的白光干涉测量(WLI)和相移干涉测量(PSI)技术，以及新的增强粗糙度模式(ERM)， Profilm3D可以在不接触样品的情况下快速测量大面积2D区域的粗糙度和纹理。点击在这里查看使用WLI、PSI和ERM技术测量的粗糙度测量应用。欧宝网页版登录
由于Profilm3D是非接触式技术，您可以轻松测量曲面和其他非平面。形状删除(又名形式删除)和过滤可以添加到您的测量配方，使表面光洁度，纹理和粗糙度测量一个点击事件!
Profilm3D轮廓仪计算所有47个标准ASME/EUR/ISO粗糙度参数。您可以将其中的任何一个或全部显示在您的结果中，使自定义报告成为一个快照。
光学方法测量表面粗糙度现在完全得到ISO的支持。特别地，ISO 25178 Part 604描述了Profilm3D的WLI方法(也称为相干扫描干涉测量法)。
光学轮廓仪比触控笔轮廓仪有许多优点:
Profilm3D光学轮廓仪只需几秒钟的时间，就可以测量几平方毫米的区域。用所得到的区域扫描计算的粗糙度产生的测量值在统计上比直线扫描的测量值更显著，更能代表表面。如果您正在使用触控笔轮廓仪扫描相同大小的区域，请准备好花几分钟等待(并希望您的扫描参数设置正确!)
一旦您的测量配方设置好(我们的专家很乐意帮助您)，只需坐在Profilm3D舞台上，然后单击测量按钮。如果您对测量特定的微观位置感兴趣，Profilm3D的自动XY台使其易于找到。更简单的是，只要你感兴趣的区域在Profilm3D的2mm x 1.7mm大视场内(使用10倍物镜)，你就可以很容易地分析不同的区域。
因为光学轮廓测量是一种非接触技术，你可以很容易地测量曲面和其他非平面。形状去除(又名形式去除)和过滤是标准的Profilm3D，可以很容易地添加到您的配方-快速轻松地测量曲面的表面光洁度，纹理和粗糙度。配置文件也可以在扫描后进行分层-另一个功能，可以通过将其添加到您的测量食谱之一来实现自动化。除此之外，作为一种非接触式方法，意味着光学分析器不会像接触式触头分析器那样损坏柔软细腻的胶片。
如果你有一个触头轮廓仪，你知道尖端损坏是一个经常担心的问题，而且更换尖端既不快速也不便宜。相比之下，光学剖面仪不接触样品，并且和普通显微镜一样脆弱。Profilm3D光源是LED，所以没有灯(或其他任何东西)需要定期更换。
您可以看到样品的可视化3D表示-而不仅仅是典型的触头轮廓仪痕迹的弯曲线。使用SpaceMouse®，您的3D图像可以轻松地在所有三个维度进行操作。
蓝线来自Profilm3D，红线来自KLA-Tencor D-100触头轮廓仪。
如需更完整的规格，请索取数据表。
| 机械规格- Profilm3D | |
| Z范围 | 100毫米 |
| 压电范围 | 500μm |
| XY舞台类型 | 自动化 |
| XY级范围 | 100mm × 100mm |
| 相机 | 2592 x 1944(500万像素) |
| 系统大小，宽x深x高 | 305mm x 305mm x 550毫米 |
| 系统重量 | 15公斤 |
| 机械规格- Profilm3D-200 | |
| XY级范围 | 200mm x 200mm |
| 系统规模 | 406毫米x 406毫米x 550毫米 |
| 系统重量 | 22公斤 |
| 性能规格 | |
| 厚度范围WLI | 50nm - 10mm |
| 厚度范围，PSI* | 0 ~ 3μm |
| 样品反射率范围 | 0.05% - 100% |
| *可选移相干涉测量模式 | |
| 一般电脑要求 | |
| 视频 | 硬件加速支持DirectX 11 |
| 操作系统 | Windows 7及以上版本(要求64位) |
| I / O端口 | 1个可用的USB3接口 |
| 最低配置 | 推荐配置 | |
| 处理器 | 双核，2.0GHz时钟速度 | 四核，2.2GHz时钟速度 |
| 显示 | 1366 x 768 | 1920 x 1080 |
| 内存 | 4 gb内存 | 8 gb RAM |
| 磁盘空间 | 300 mb | 500 mb |
| 最低配置 | |
| 处理器 | 双核，2.0 GHz时钟速度 |
| 显示 | 1366 x 768 |
| 内存 | 4gb内存 |
| 磁盘空间 | 300 mb |
| 推荐配置 | |
| 处理器 | 四核，2.2 GHz时钟速度 |
| 显示 | 1920 x 1080 |
| 内存 | 8 gb RAM |
| 磁盘空间 | 500 mb |
| 放大 | 5倍 | 10倍 | 20 x | 50 x | 100 x |
| 视场 | 4.0 x 3.4mm | 2.0 x 1.7mm | 1.0 x 0.85mm | 0.4 x 0.34mm | 0.2 x 0.17mm |
| 空间采样在4倍变焦** | 1.76μm | 0.88μm | 0.44μm | 0.176μm | 0.088μm |
| 放大 | 视场 | 空间抽样* * |
| 5倍 | 4.0 x 3.4mm | 1.76μm |
| 10倍 | 2.0 x 1.7mm | 0.88μm |
| 20 x | 1.0 x 0.85mm | 0.44μm |
| 50 x | 0.4 x 0.34mm | 0.176μm |
| 100 x | 0.2 x 0.17mm | 0.088μm |
*单独出售
**投影在样品上的像素大小
光学轮廓仪具有WLI和GLI测量功能和自动对焦。包括:自动XY工作台，倾斜工作台，4位手动转塔，用户说明，校准步高SHS-CrOnSi-10µm。
手动旋转(r-theta)级200mm晶圆在Profilm3D。
阶梯高度标准为10 μ m阶梯。铬表面1.25”平方Si。包含在Profilm3D中。
10倍尼康Mirau干涉物镜。(其他放大倍数的价格请与我们联系。)
升级profile - analysissoftware的PSI分析能力。
升级profile - analysissoftware用于Profilm3D XY网格的拼接。
升级轮廓分析软件到TotalFocus大景深成像。
台阶高度标准，有4 μ m, 2 μ m和100nm台阶。铬表面1.25”平方Si。
profile桌面分析软件-永久license
主动隔振系统- Accurion Nano30。