但是,手写笔的初步法存在缺点。最重要的是,必须形成具有步骤的样本以测量膜厚度,因此形成的膜步骤通常并不完美(见图)。欧宝娱乐在线平台结合校准误差和机械漂移,通常会导致测得的厚度明显误差。
相反,光谱反射率(SR)是一种非接触技术,不需要样品准备来测量膜厚度。欧宝娱乐在线平台从电影中反映的光在大约一秒钟内分析,以确定薄膜的厚度和折射率。多层膜也可以用SR测量。
下面列出了每种技术的主要优势的摘要。
光谱反射率 | Stylus的轮廓学 | |
---|---|---|
厚度测量范围: | 1nm -3mm(非金属) 0.5nm -50nm(金属)* |
0.5mmm(硬材料) |
测量多层: | 是的 | 不 |
测量折射率: | 是的 | 不 |
可重复性(500nm SiO2): | 0.1nm | 0.5nm |
测量速度: | <1秒 | 〜5-30秒 |
需要样本准备: | 不 | 是的 |
移动部件: | 不 | 是的 |
基本系统的价格: | 〜10K | 〜40K |
*电影堆栈依赖 |