比较光谱反射率和触控尺寸的比较

Stylus的轮廓学是一种易于理解的机械技术电影厚度。它通过监视手写笔的高度来工作时起作用,因为它拖动了电影中的一步(请参见右图)。手写笔剖面法的主要优点是它可以用于所有固体膜,包括不透明的材料,例如厚金属膜。(有关我们的低成本光学考验仪的信息,点击这里。

但是,手写笔的初步法存在缺点。最重要的是,必须形成具有步骤的样本以测量膜厚度,因此形成的膜步骤通常并不完美(见图)。欧宝娱乐在线平台结合校准误差和机械漂移,通常会导致测得的厚度明显误差。

相反,光谱反射率(SR)是一种非接触技术,不需要样品准备来测量膜厚度。欧宝娱乐在线平台从电影中反映的光在大约一秒钟内分析,以确定薄膜的厚度和折射率。多层膜也可以用SR测量。

下面列出了每种技术的主要优势的摘要。

光谱反射率 Stylus的轮廓学
厚度测量范围: 1nm -3mm(非金属)
0.5nm -50nm(金属)*
0.5mmm(硬材料)
测量多层: 是的
测量折射率: 是的
可重复性(500nm SiO2): 0.1nm 0.5nm
测量速度: <1秒 〜5-30秒
需要样本准备: 是的
移动部件: 是的
基本系统的价格: 〜10K 〜40K
*电影堆栈依赖