入射角的这种差异导致两种技术的成本,复杂性和能力的差异。由于椭圆计的光在角度成vent骨出现,因此必须分析反射光的极化及其强度,这为其提供了更好的能力,可以测量非常薄且复杂的膜堆栈。然而,分析极化也意味着需要昂贵的精确光学组件。
通过使用垂直于膜的光,SR可以忽略极化效应(因为大多数膜是旋转的对称性)。因此,可以在没有任何移动组件的情况下实现SR,从而产生更简单和较低的仪器。SR系统还可以轻松地包括透射分析,以实现更大的功率。
参考下表,SR通常是大于10UM的薄膜的首选技术,而SE通常是薄膜比10nm厚的薄膜所首选。在这两个厚度之间,有许多应用都可以使用两种技术。欧宝网页版登录在这种情况下,通常由于其速度,简单性和低成本而选择SR。
光谱反射率 | 光谱椭圆法 | |
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厚度测量范围: | 1nm -3mm(非金属) 0.5nm -50nm(金属)* |
1nm -1mm(非金属) 0.5nm -50nm(金属) |
索引测量所需的厚度: | > 20nm(非金属) 5nm -50nm(金属) |
> 5nm(非金属) > 0.5nm(金属) |
测量速度: | 每个位置〜0.1-5秒 | 〜1-300秒每个位置 |
特别训练: | 不 | 大多数应用所需的欧宝网页版登录 |
移动部件: | 不 | 移动精度光学元件 |
基本系统的价格: | 〜15K | 〜55k |
*电影堆栈依赖 |