这种入射光角度的差异导致了两种测量技术在成本、复杂性和能力上的差异。由于椭圆计的光以一定角度入射,它必须分析反射光的偏振及其强度,这使它能够更好地测量非常薄和复杂的薄膜堆。然而,分析偏振也意味着需要昂贵的、精确移动的光学元件。
通过使用垂直于薄膜的光,SR可以忽略偏振效应(因为大多数薄膜都是旋转对称的)。因此,SR可以在没有任何移动组件的情况下实现,这导致了更简单和更低成本的仪器。SR系统还可以轻松地包括透射率分析,甚至更大的功率。
从下表可以看出,对于大于10um的薄膜,光谱反射率通常是首选的厚度测量技术,而对于厚度小于10nm的薄膜,光谱椭圆偏振通常是首选的厚度测量技术。在这两种厚度之间,有许多应用可以同时使用这两种技术。欧宝网页版登录在这种情况下,通常选择光谱反射率,因为它速度快,简单,成本低。
光谱反射率 | 光谱椭圆光度法 | |
---|---|---|
厚度测量范围: | 1nm - 3mm(非金属) 0.5nm - 50nm(金属)* |
1nm - 1mm(非金属) 0.5nm - 50nm(金属) |
指标测量所需厚度: | > 20 nm(非金属) 5nm - 50nm(金属) |
> 5纳米(非金属) > 0.5 nm(金属) |
测量速度: | ~0.1 - 5秒每个位置 | 每个位置约1 - 300秒 |
特殊的训练: | 没有 | 大多数应用程序都需要欧宝网页版登录 |
移动部件: | 没有 | 移动精密光学 |
基本系统价格: | ~ 15 k | k ~ 55 |
*依赖于胶片堆栈 |