椭圆偏振和光谱反射率的比较:厚度测量指南

这两种光谱椭圆光度法(SE)和光谱反射率(SR)分析反射光，以确定厚度和折射率介电，半导体和薄金属薄膜。两种测量技术之间的主要区别是SE使用以低入射角反射薄膜的光，而SR使用垂直于薄膜的反射光。

这种入射光角度的差异导致了两种测量技术在成本、复杂性和能力上的差异。由于椭圆计的光以一定角度入射，它必须分析反射光的偏振及其强度，这使它能够更好地测量非常薄和复杂的薄膜堆。然而，分析偏振也意味着需要昂贵的、精确移动的光学元件。

通过使用垂直于薄膜的光，SR可以忽略偏振效应(因为大多数薄膜都是旋转对称的)。因此，SR可以在没有任何移动组件的情况下实现，这导致了更简单和更低成本的仪器。SR系统还可以轻松地包括透射率分析，甚至更大的功率。

从下表可以看出，对于大于10um的薄膜，光谱反射率通常是首选的厚度测量技术，而对于厚度小于10nm的薄膜，光谱椭圆偏振通常是首选的厚度测量技术。在这两种厚度之间，有许多应用可以同时使用这两种技术。欧宝网页版登录在这种情况下，通常选择光谱反射率，因为它速度快，简单，成本低。