椭圆法和光谱反射率的比较：厚度测量指南

两种光谱学椭圆法（SE）和光谱反射率（SR）分析反射光，以确定厚度和折射率电介质，半导体和薄膜。这两种技术之间的主要区别在于，SE使用以低入射角反射出胶片反射的光，而SR使用的光使用垂直于膜的光（正常）。

入射角的这种差异导致两种技术的成本，复杂性和能力的差异。由于椭圆计的光在角度成vent骨出现，因此必须分析反射光的极化及其强度，这为其提供了更好的能力，可以测量非常薄且复杂的膜堆栈。然而，分析极化也意味着需要昂贵的精确光学组件。

通过使用垂直于膜的光，SR可以忽略极化效应（因为大多数膜是旋转的对称性）。因此，可以在没有任何移动组件的情况下实现SR，从而产生更简单和较低的仪器。SR系统还可以轻松地包括透射分析，以实现更大的功率。

参考下表，SR通常是大于10UM的薄膜的首选技术，而SE通常是薄膜比10nm厚的薄膜所首选。在这两个厚度之间，有许多应用都可以使用两种技术。欧宝网页版登录在这种情况下，通常由于其速度，简单性和低成本而选择SR。