椭圆法和光谱反射率的比较:厚度测量指南

两种光谱学椭圆法(SE)和光谱反射率(SR)分析反射光,以确定厚度和折射率电介质,半导体和薄膜。这两种技术之间的主要区别在于,SE使用以低入射角反射出胶片反射的光,而SR使用的光使用垂直于膜的光(正常)。

入射角的这种差异导致两种技术的成本,复杂性和能力的差异。由于椭圆计的光在角度成vent骨出现,因此必须分析反射光的极化及其强度,这为其提供了更好的能力,可以测量非常薄且复杂的膜堆栈。然而,分析极化也意味着需要昂贵的精确光学组件。

通过使用垂直于膜的光,SR可以忽略极化效应(因为大多数膜是旋转的对称性)。因此,可以在没有任何移动组件的情况下实现SR,从而产生更简单和较低的仪器。SR系统还可以轻松地包括透射分析,以实现更大的功率。

参考下表,SR通常是大于10UM的薄膜的首选技术,而SE通常是薄膜比10nm厚的薄膜所首选。在这两个厚度之间,有许多应用都可以使用两种技术。欧宝网页版登录在这种情况下,通常由于其速度,简单性和低成本而选择SR。

光谱反射率 光谱椭圆法
厚度测量范围: 1nm -3mm(非金属)
0.5nm -50nm(金属)*
1nm -1mm(非金属)
0.5nm -50nm(金属)
索引测量所需的厚度: > 20nm(非金属)
5nm -50nm(金属)
> 5nm(非金属)
> 0.5nm(金属)
测量速度: 每个位置〜0.1-5秒 〜1-300秒每个位置
特别训练: 大多数应用所需的欧宝网页版登录
移动部件: 移动精度光学元件
基本系统的价格: 〜15K 〜55k
*电影堆栈依赖