椭偏仪与光谱反射率的比较:厚度测量指南

这两种光谱椭圆光度法(SE)和光谱反射率(SR)分析反射光来确定厚度和折射率介电、半导体和金属薄膜。这两种技术的主要区别是SE使用低入射角反射的光，而SR使用垂直于(法线)反射的光。

入射光角度的差异导致了两种技术在成本、复杂性和性能上的差异。由于椭偏仪的光以一定的角度入射，它必须分析反射光的偏振及其强度，这使它能够更好地测量非常薄和复杂的薄膜堆。然而，分析偏振也意味着需要昂贵的、精确移动的光学元件。

通过使用垂直于胶片的光，SR可以忽略偏振效应(因为大多数胶片是旋转对称的)。因此，SR可以在没有任何移动部件的情况下实现，这使得仪器更简单，成本更低。SR系统还可以很容易地包括透光分析，甚至更大的功率。

从下表可以看出，对于大于10um的薄膜，光谱反射率通常是首选技术，而对于小于10nm的薄膜，光谱椭偏法通常是首选技术。在这两种厚度之间，有许多应用可以同时使用这两种技术。欧宝网页版登录在这种情况下，由于光谱反射率的速度、简单和低成本，通常选择它。