自动测量提高了硅测试实验室的生产率和信息价值
EV Group，Inc。提供用于硅晶圆粘结，光刻/纳米印刷光刻和计量设备的产品，以及Photorsist涂料器，清洁剂和检查系统。该公司在亚利桑那州的坦佩（Tempe）经营一个演示和应用实验室，工程师在其中执行过欧宝网页版登录程控制项目，以测量胶片和涂层，以在EVG客户开发的各种晶圆类型和尺寸上涂层。
寻求一种测量膜厚度的新方法欧宝娱乐在线平台
以前，EVG工程师使用了“刮擦测试”测量方法，从晶圆的选定区域中删除膜，并使用光学探测仪测量膜厚度。欧宝娱乐在线平台这些方法是耗时的，提供了有限的数据，无法支持可重复的测试。
工程师还需要一个测试系统，该系统可以测量各种客户应用中的聚合物膜厚度。欧宝娱乐在线平台欧宝网页版登录这些因素导致evg进入电影摄影®以及F50-EXR膜厚度映射系统欧宝娱乐在线平台。
电影摄影F50-EXR支持较长的波长，以测量更厚，更粗糙和更多不透明的膜。该系统符合EVG的要求，以测量多种晶圆尺寸（最多300毫米）和多种材料类型，包括其本地状态的硅，具有金属种子层的硅晶片和由专门材料制成的晶片，这些材料只能耐受最小的处理。“电影摄影系统的一种优点是，它可以处理各种晶圆尺寸和聚合物厚度，并很好地处理它们，”技术北美技术总监Garrett Oakes说，EV Group，Inc.。欧宝体育vip
许多应用程序的快速，精确的测量欧宝网页版登录
使用Filmetrics F50-EXR为EVG带来了一些好处。
节省时间：“我不想在实验室中拥有一个复杂的工具，没人想使用，” Oakes解释说。“电影摄影系统非常直观，工程师几乎没有时间来弄清楚如何为测试配置它。”由于电影摄影测试是自动化的，因此EVG工程师可以在运行测试时执行其他工作，这有助于其生产力。
通过远程访问F50-EXR系统访问测试结果的能力也节省了工程师的时间。奥克斯说：“现在，我们可以在以前只能获得少数时间的时间内执行数百次测量。”
可重复测试：可重复性增加了客户对测试产生的测量结果的信心。Oakes解释说：“使用电影摄影单元的自动测试使我们的工程师可以轻松地在同一晶片上执行多个测量。”“当工程师正在验证样品集中多个晶圆的测量值时，自动化还支持测试一致性。”
适应性：系统支持多种晶圆尺寸和类型，使EVG能够接受各种客户测试项目。
综合数据：通过测量晶圆上的更多点并在其报告中提供视觉表示和详细的测试结果，EVG工程师可以帮助客户确定产品设计或制造过程中的问题。
Oakes和他的工程师还受益于电影摄影技术为设计异常或具有挑战性的测量测试提供的应用支持。奥克斯说：“电影制度工程师将帮助您了解满足您需求的最佳测量选择。”
对于EVG而言，使用Filmetrics F50-EXR自动化胶片测量结果，带来了实验室操作的改进，并提高了客户对公司服务的满意度。
强调
关键业务问题：
- 减少设置测试所需的时间并获得聚合物膜测量结果
- 使用单个工具在各种应用中测量膜欧宝网页版登录
- 启用可重复测试
解决方案元素：
- 电影摄影F50-EXR膜厚度映射系统欧宝娱乐在线平台
- 摄影技术的咨询支持以设置专业测试
结果：
- 通过快速和自动化测试和远程系统访问为工程师节省时间
- 能够轻松测试多种膜应用类型和硅晶片尺寸的能力
- 可重复测试支持多磁力测试中的测量一致性
- 综合报告为EVG客户提供了有关产品和流程设计的宝贵信息
合作者：
EV Group，Inc。