F10-RT.
金属厚度测量
电影化学®为测量金属膜提供几种解决方案：
profileomry.
ProfileMetry是一种常见的且易于适用的金属膜厚度测量方法。欧宝娱乐在线平台所需要的只是从未涂覆到金属涂覆区域的台阶，以确定步进高度，从而确定金属厚度。通过轮廓测量测量，几乎没有必要知道关于正在进行的材料的细节，并且最大可测量的厚度仅限于所用光学分析器的最大可测量厚度。台阶高精度取决于分析器的垂直分辨率。在...的情况下Filmetrics Profilm3d.®，对于8μm的步骤，精度为0.7％ - 这意味着56 nm！
光谱透射率（ST）
对于非常薄的薄膜，光谱透射率（ST）测量是测量厚度的替代方案和更便宜的方式。对于这种测量，Fimpetrics提供了F10-T.。对于ST测量，最大可测量的厚度在手上的金属上强烈取决于（见表）。但是，这种方法有一些限制。对于一个，基板材料必须是透明的。对于另一个，必须已知在调查中的材料的光学常数来获得准确的结果。通常，这是不可批判的，因为Fimpetrics提供了具有其仪器的大型材料数据文件数据库。另一方面，如果材料的性质是未知的或定期改变的（例如，如果偶尔改变涂层工艺参数），则ST的唯一测量是不够的。在这种情况下，以下组合光谱透射率和光谱反射率的方法更适合。
光谱透射率和光谱反射的组合（ST / SR）
如果材料的光学性质未知，则可以使用光谱透射率和反射率的同时测量来确定光学常数并测量相同过程中的膜的厚度。在这种情况下，可测量的厚度范围是ST测量的一半。选择的仪器是Filmetrics的F10-RT，这与我们的ProfilM3D光学分析器相同。
总结三种方法的适用性/益处：
| 手写笔轮廓测量值 | 英石 | ST / SR. | |
|---|---|---|---|
| 合适的仪器 | profilm3d. | F10-RT. | F10-RT. |
| 厚度范围 | 50nm-10mm. | 见下表 | 联系我们 |
| 需要材料光学性能？ | 不 | 是的 | 不 |
| 透明衬底需要吗？ | 不 | 是的 | 是的 |
使用光谱透射率最大可测量厚度的示例：
| 金属 | 通过透射率最大可测量的厚度 | 约。％T峰位置 |
|---|---|---|
| AG（银） | 360nm. | 320nm. |
| Al（铝） | 53nm. | 900nm. |
| AU（金） | 200nm. | 500nm. |
| 铜（铜） | 135nm. | 575nm. |
| NB（Niobium） | 135nm. | 750nm. |
| Ti（钛） | 260nm | 1700nm. |
| W（钨） | 133nm. | 1500nm. |
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厚度测量例子
该特定样品是玻璃基板上的铝的薄膜。为了解决厚度以及光学常数，对我们的F10-RT系统进行测量，该系统将反射率和透射率结合在正常入射时。通过使用我们的“无模型”模型，我们测量了这种金属薄膜的厚度和光学常数，全部单击单击。
