F3-S1550使用SampleCam-SX
故障分析(FA)技术用于定位和识别集成电路故障的原因。
需要薄膜厚度测量的两种主要类型的FA应用是前侧延迟欧宝网页版登录(用于传统的设备侧电路封装)和背面变薄(对于较新的倒欧宝娱乐在线平台装芯片设备侧电路封装。)
前侧延迟过程需要了解介电变薄后剩余的介质的厚度。电影化学®F40.是此应用的理想选择。
背面Fa需要去除在电路可以成像之前的大部分Si模具厚度,并且在每个细化步骤之后知道剩余Si的厚度是关键的。电影化学F3-SX.系统专门设计用于测量由各种背面稀释过程产生的粗糙Si层厚度的挑战。厚度为5μm至1000μm,易于测量,并且可以选择延伸到下降至0.1μm以下的最小厚度。单点和映射版本都可用。
接触我们的薄膜专家讨论您的介电应用。
电影化提供免费试用测量- 结果通常在1-2天内提供