Filmetrics^®成立于1995年，其使命是使薄膜测量简单和负担得起。在我们到来之前，薄膜厚度测量仪器要花费5万美元甚至更多并且需要高级培训。单次测量耗时长达一小时。

Filmetrics方法源于微电子技术和软件革命，可以在不到一秒的时间内测量薄膜厚度，而操作员可以做到这一点几分钟就能训练好。

Filmetrics于2019年3月被KLA收购。